MEMS技术的飞速发展使MEMS加速度计变得成熟，应用范围得到了扩展。 研究了多种MEMS加速度计。 根据MEMS加速度计的工作原理，它可以分为：压阻，压电，电容，隧道，谐振，电磁，热电偶，光学，电感等。由于其在尺寸，质量，功耗和功耗方面的出色表现，可靠性，MEMS传感器用于军事应用以及要求高耐环境性的场合。 MEMS加速度计发展Swift，具有良好的应用前景。 为了使MEMS加速度计得到更广泛的了解，阐述了MEMS加速度计的优点。 介绍了MEMS加速度计的研究现状，并对MEMS进行了分析。 加速度计在现实环境中的应用以及MEMS加速度计在未来的发展趋势。 追求高性能，低功耗，高精度，多功能和交互作用的学者将更多地投入到MEMS加速度计的研究中。 强大的MEMS加速度计将在未来无处不在。

OnScale：仿真驱动的5G射频MEMS滤波器优化流程，白皮书

该计步器通过基于MEMS的三轴加速度传感器ADXL345采集人体运动时的加速度信息, 用STM32微控制器对数据分析、带阈值计步算法处理，实现计步功能,并通过HC-05蓝牙模块将步数信息传给与其通信的手机上。

硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作，使其近年来发展迅速。

石墨烯的能带结构及独特的电学电学性能；石墨烯FET的优势和缺点；提高石墨烯晶体管开关比低的方法（如何解决石墨烯FET存在的问题）；石墨烯的制备方法及其各自的优缺点；MEMS加速度计、陀螺仪、喷墨打印机的打印头、数字微镜器件的原理；MEMS器件；使用电子耗尽层理论解释半导体金属氧化物气体传感器的原理；电子皮肤的概念、特点及其应用场景；真空微纳电子器件特点；冷阴极技术；如何理解More Moore及More Than Moore。

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早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。

MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。

车载MEMS及智能传感器产业研究报告：汽车之眼，ADAS发展之路（36页）,资源名称：车载MEMS及智能传感器产业研究报告：汽车之眼，ADAS发展之路（36页）车载MEMS及智能传感器研究-汽车之眼，ADAS发展之路.zip...