这个是苏州敏芯公司的MEMS的资料介绍，里面对这个的介绍还是比较好的，对于制作电路板还是有帮助的，可以看看.

MEMS IMU 校准教程. 简单靠谱。需要用到最小二乘法。 对于大批量消费生产有很重要的实际意义

针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景，结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战 略，以支撑我国MEMS产业化发展的应用基础为切入点，掌握MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与 系统集成等方面的具有自主知识产权的关键技术，建立我国的MEMS研发体系和产业化基地，围绕医疗、消费 电子、家电等行业，开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统，推动MEMS的可持续发展和未 来产业化的形成打下良好的基础。

AB1562A_ANC原理图参考 络达最新芯片 ANC降噪 RF设计 MEMS Microphone (ANC FF MIC/Voice MIC)

由Volker Kempe所著的《Inertial MEMS Principles and Practice》的中英文版PDF文档。中文版名为《惯性MEMS器件原理与实践》。 中文版为扫描版，文字还算清晰；英文版为高清版，文字可拷。欢迎感兴趣的朋友下载。

网上有很多介绍MEMS IMU传感器噪声模型的文章，但是这一篇是我见过最完整的噪声模型了。详细讲解了MEMS误差的来源，如果有深入研究MEMS传感器，这篇文章非常有用。

该文件较为全面的列举了ADI公司的陀螺仪，加速度计以及其复合品的各种主要参数，为需要按照芯片性能来选型的人士提供了极大的便利

传统横向单向加载MEMS静电微执行器存在位移过小或驱动电压过大等问题.本文提出一种纵横双向加载的新型硅基静电执行器模型.基于拉格朗日-麦克斯韦方程建立了微执行器动力方程,分析了边缘漏电场对静电力的影响,基于龙格-库塔算法将所有轴向载荷等效为轴向集中载荷,并分别仿真得到了变形与驱动电压、调节电压和轴向挤压量之间的关系,结果表明当驱动电压仅为16 V时,位移高达10.861μm,远大于目前传统横向加载单向变形微执行器的位移量.通过微型制造工艺加工了微执行器,利用高频信号采集了横向极板间的电压变化量,验证了仿真结果.

本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例，图文并茂。全书共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysies软件中MEMS建立模型的基本过程；第2章以6个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法；第3、4、5章分别介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发，具有高度的可靠性。 本书可供MEMS研究人员和爱好者，以及高等院校相关专业师生阅读、参考。

基于无味卡尔曼滤波器的用于AUV的基于MEMS的低成本SINS的动态初始对准