光开关是光通信网络的重要功能器件，MEMS光开关是最具发展前景的光开关之一。在简介不同种类光开关原理特点的基础上，详细分析了当前主要的MEMS光开关的分类、结构、工艺与性能特点，并给出这一领域的研究与发展状况。 一、前言 　　光纤通信技术的问世和发展给通信业带来了革命性的变革，目前世界大约85％的通信业务经光纤传输，长途干线网和本地中继网也已广泛使用光纤。同时，密集波分复用(DWDM)技术的发展和成熟为充分应用光纤传输的带宽和容量开拓了广阔的空间，具有高速率、大带宽明显优势的DWDM光通信网络已经成为目前通信网络发展的趋势。特别是近几年，以IP为主的Internet业务呈现爆炸性增长，这

多MEMS陀螺数据融合系统的设计和实现.pdf,微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域，但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象，设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台，在此平台上利用小波域多尺度融合算法，对4个微机电陀螺仪所采集的原始数据进行实时小波融合处理。分别对该集成系统在静态和动态环境下进行测试，实验结果表明，该系统运行稳定可靠，融合处理后的数据标准差都比融合前降低了一个量级。

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MEMS-Based Integrated Navigation，比较新的一本书，介绍MEMS和INS的，做Android导航的可以参考

MEMS技术的飞速发展使MEMS加速度计变得成熟，应用范围得到了扩展。 研究了多种MEMS加速度计。 根据MEMS加速度计的工作原理，它可以分为：压阻，压电，电容，隧道，谐振，电磁，热电偶，光学，电感等。由于其在尺寸，质量，功耗和功耗方面的出色表现，可靠性，MEMS传感器用于军事应用以及要求高耐环境性的场合。 MEMS加速度计发展Swift，具有良好的应用前景。 为了使MEMS加速度计得到更广泛的了解，阐述了MEMS加速度计的优点。 介绍了MEMS加速度计的研究现状，并对MEMS进行了分析。 加速度计在现实环境中的应用以及MEMS加速度计在未来的发展趋势。 追求高性能，低功耗，高精度，多功能和交互作用的学者将更多地投入到MEMS加速度计的研究中。 强大的MEMS加速度计将在未来无处不在。