系统环境：Windows10 开发工具：Eclipse4.8.0 / MyEclipse2014 / IDEA 编码集：UTF-8 Java版本：JDK 1.8 服务器：tomcat 8.0 数据库：MySQL 5.5 系统采用技术：Servlet+jsp+mysql+jQuery+bootstrap+面向接口编程 系统管理员： 个人信息管理，课程管理，成绩管理，学生信息管理，教师管理，所有账号管理等。 教师： 个人信息管理，课程管理，成绩管理，学生信息管理等。 学生： 个人信息管理，查看自己的成绩等。

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光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以继续。本书覆盖现代光刻技术的重要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺。在设备部分，对业界使用的主流设备进行剖析，介绍其原理结构、使用方法、和工艺参数的设置。在材料部分，介绍了包括光刻胶、抗反射涂层、抗水涂层、和使用旋图工艺的硬掩膜等材料的分子结构、使用方法，以及必须达到的性能参数。本书按照仿真技术发展的顺序，系统介绍基于经验的光学邻近效应修正、基于模型的光学邻近效应修正、亚曝光分辨率的辅助图形、光源-掩模版共优化技术和反演光刻技术。如何控制套刻精度是光刻中公认的技术难点，本书有一章专门讨论曝光对准系统和控制套刻精度的方法。另外，本书特别介绍新光刻工艺研究的方法论、光刻工程师的职责，以及如何协调各方资源保证研发进度。

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科研伦理与学术规范 期末考试2 （40题）

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