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东南大学微机电系统-MEMS简介..ppt
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上传时间: 2021-06-05 17:14:15
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文件大小: 15.11MB
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文件类型: PPT
东南大学
mems
早在二十世纪六十年代,在硅集成电路制造技术发明不久,研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性,制造微型机械部件,如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上,就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
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