本科微电子学MEMS总结，本科微电子学MEMS总结。

MEMS三轴加速度计及其制造方法.pdf

描述了MEMS传感器的应用和市场情况，主要竞争格局和市场容量，及主要厂商的市场份额占比等。

6麦圆阵规格书-mems.pdf

网络资源分享：张海涛、阎贵平关于电容式加速度传感器MEMS的东东

2020年中国MEMS传感器行业研究报告 -集成化、智能化的行业发展趋势.pdf

针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景，结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战略，以支撑我国MEMS产业化发展的应用基础为切入点，掌握MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与系统集成等方面的具有自主知识产权的关键技术，建立我国的MEMS研发体系和产业化基地，围绕医疗、消费电子、家电等行业，开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统，推动MEMS的可持续发展和未来产业化的形成打下良好的基础。

基于Allan方差的mems陀螺仪性能，误差分析，用MATLAB编写，可直接运行

STM Sensors & MEMS 传感器全系列原理图库+PCB封装库（AD集成库）.IntLib后缀文件，拆分后文件为PcbLib+SchLib格式，Altium Designer原理图库+PCB封装库，集成库型号列表如下： ibrary Component Count : 81 Name Description ---------------------------------------------------------------------------------------------------- AIS226DS MEMS inertial sensor, 2-axis, low-g accelerometer with digital output, -40 to +105癈, SO-16W, Tube AIS226DSTR MEMS inertial sensor, 2-axis, low-g accelerometer with digital output, -40 to +105癈, SO-16W, Tape and Reel AIS326DQ MEMS inertial sensor, 3-axis, low-g accelerometer with digital output, -40 to +105癈, QFPN-28 (7x7x1.9), Tray AIS326DQTR MEMS inertial sensor, 3-axis, low-g accelerometer with digital output, -40 to +105癈, QFPN-28 (7x7x1.9), Tape and Reel AIS328DQ High-performance ultra low-power 3-axis accelerometer, -40 to +105癈, QFPN 4x4x1.8 24L, Tray AIS328DQTR High-performance ultra low-power 3-axis accelerometer, -40 to +105癈, QFPN 4x4x1.8 24L, Tape and Reel FC30 MEMS functional sensor; smart 3D orientation and click detection standalone device, -40 to +85癈, LGA-14 (3x5x0.92), Tray L3G4200D MEMS motion sensor: ultra-stable three-axis digital output gyroscope, -40 to +85癈, LGA-16 (4x4x1.1), Tray L3G4200DTR MEMS motion sensor: ultra-stable three-axis digital output gyroscope, -40 to +85癈, LGA-16 (4x4x1.1), Tape and Reel L3G462A MEMS motion sensor: ?625 dps full scale 3-axis analog gyroscope, -40 to +85癈, LGA-16 (4x4x1.1), Tray L3G462ATR MEMS motion sensor: ?625 dps full scale 3-axis analog gyroscope, -40 to +85癈, LGA-16 (4x4x1.1), Tape and Reel LIS302DL MEMS motion sensor 3-axis - ?2g/?8g smart digital output piccolo accelerometer, -40 to +85癈, LGA-14 (3x5x1), Tray LIS302DLTR MEMS motion sensor 3-axis - ?2g/?8g smart digital output piccolo accelerometer, -40 to +85癈, LGA-14 (3x5x1), Tape and Reel LIS331DL MEMS motion sensor 3-axis -

Tanner Tools是模拟，混合信号和MEMS IC设计的完整流程，包括原理图捕获，模拟仿真，物理布局，验证，综合以及布局布线。 在本自定进度的教程中，着重介绍了Tanner L-Edit™的MEMS布局功能。