不管是逻辑芯片还是存储芯片，制程量级越低，技术难度越大，制作成本也越高。IBS 的 数据显示：28nm 体硅器件的设计成本大致在 5130 万美元左右，而 7nm 芯片需要 2.98 亿， 5nm 则需要 5.42 亿美元，成本的增长速度越来越快。28nm 是半导体制程里性价比最高、长周期属性明显的制程。一方面，相较于 40nm 及更 早期制程，28nm 工艺在频率调节、功耗控制、散热管理和尺寸压缩方面具有明显优势。 另一方面，由于 16nm/14nm 及更先进制程采用 FinFET 技术，维持高参数良率以及低缺陷 密度难度加大，每个逻辑闸的成本都高于 28nm，从前面制程成本比较的图中也可以
2023-03-31 10:47:03
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参考书籍
Hong Xiao. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology. SPIE. 2012
萧宏. 半导体制造技术导论. 电子工业出版社，2012
施敏. 半导体器件物理与工艺. 苏州大学出版社, 2002
Peter Van Zant. 芯片制造——半导体工艺制程实用教程. 电子工业出版社
Michael Quirk, Julian Serda. 半导体制造技术. 电子工业出版社. 2009
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2021-10-04 20:17:36
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行业分类-设备装置-半导体制程常压废氢气全温程变压吸附提纯再利用的方法.zip
2021-08-22 22:09:01
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