上传者: 42187944
|
上传时间: 2021-10-04 20:17:36
|
文件大小: 3.9MB
|
文件类型: -
参考书籍
Hong Xiao. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology. SPIE. 2012
萧宏. 半导体制造技术导论. 电子工业出版社,2012
施敏. 半导体器件物理与工艺. 苏州大学出版社, 2002
Peter Van Zant. 芯片制造——半导体工艺制程实用教程. 电子工业出版社
Michael Quirk, Julian Serda. 半导体制造技术. 电子工业出版社. 2009
*