参考书籍-半导体制程技术导论Chapter-1导论

上传者: 42187944 | 上传时间: 2021-10-04 20:17:36 | 文件大小: 3.9MB | 文件类型: -
参考书籍 Hong Xiao. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology. SPIE. 2012 萧宏. 半导体制造技术导论. 电子工业出版社,2012 施敏. 半导体器件物理与工艺. 苏州大学出版社, 2002 Peter Van Zant. 芯片制造——半导体工艺制程实用教程. 电子工业出版社 Michael Quirk, Julian Serda. 半导体制造技术. 电子工业出版社. 2009 *

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