一种改进的载频交叠重构干涉术在光纤干涉投影三维面形测量中的应用,朱荣刚,朱日宏,基于时空条纹图的载频交叠重构干涉术(CSI)法具有消除小范围移相误差的能力,本文在CSI法基础上提出一种改进的消除移相误差相位提取�
2024-02-26 17:24:46 914KB 首发论文
1
为了测量光学元件多层膜膜厚均匀性指标,基于面形检测对多层膜均匀性测量方法进行了研究。分析了均匀性的测量过程以及影响因素,评估了元件面形检测复现性对测量结果的影响,建立了多层膜结构的有限元模型,计算分析膜层内应力对基底面形带来的影响。基于高复现性面形检测装置进行了测量方法的实验验证工作,实验结果表明:元件面形测量口径范围内膜厚分布均匀性优于0.1 nm[均方根(RMS)值];将测试结果转化为沿径向的轮廓分布结果,与基于反射率计的膜厚检测数据进行了对比,表明两种方法测试数据基本吻合,验证了基于面形检测方法评估光学元件多层膜均匀性的可行性。
2023-08-26 08:55:59 1.69MB 测量 光刻技术 有限元分 高复现性
1
光学零件的面形偏差检验方法
2022-05-25 11:20:39 837KB 光学零件 面形偏差
1
光学镜面的变形包括刚体位移和面形误差(表面畸变),分析刚体位移和面形误差对于评价光机系统的环境适应性、空间位置稳定性和成像质量具有重要作用。根据坐标转换法去除镜面变形中的刚体位移,论述了曲面拟合、法线方向和光轴方向三种面形误差统计方法的原理并进行了深入比较,针对不同重力及温度工况计算了镜面面形误差的均方根(RMS)值及峰谷(PV)值。引入镜面弥散斑RMS 半径并将其作为面形误差大小的光学评价标准,通过三次插值算法生成栅格矢高面,在ZEMAX 软件中建立了高精度的镜面面形误差光学模型,最后采用面形误差的RMS 值及PV 值与弥散斑RMS 半径之间的线性关系考查了三种面形误差统计方法的光学性能。研究结果表明:曲面拟合法统计的面形误差信息不完整,适用于镜面面形方程参数不发生明显改变的工况。法线方向和光轴方向两种统计方法统计的面形误差信息完整,可以全面地衡量光机系统的成像质量。
2022-03-16 01:22:43 2.76MB 测量 面形误差 刚体位移 均方根半
1
在移相干涉中,由于系统或者环境的原因会产生移相误差,进而导致面形检测产生误差。介绍了最小二乘迭代随机移相算法的基本原理,通过模拟仿真,高精度地迭代出原始面形。针对随机移相可能引起迭代得到的面形与真实面形相反的现象,理论上分析了其产生的原因。提出在最小二乘迭代随机移相算法中,需要已知移相方向才能准确迭代出真实面形,通过实验进一步证实结论的正确性。给出了干涉仪移相方向标定的可行方法。
2022-03-08 10:31:56 2.39MB 测量 面形检测 干涉法 最小二乘
1
《Kinect for Windows SDK v2.0 开发笔记 (十三) 高清面部帧(4) 面部模型构建器》所附带资源
2022-03-02 10:28:37 17KB Kinect C++ 面部捕捉
1
推导了单位圆域和单位方域内的双变量正交多项式曲面的数学模型,详细分析了将不同正交多项式曲面应用于自由曲面拟合的精度问题。采用均匀随机、阵列分布和环状辐射三种采样方式,并选择具有代表性的普通非球面、自由曲面以及Peaks自由曲面进行了大量的拟合实验。实验结果表明:三种采样方法中,阵列采样的拟合适应度最高;XY多项式和正交XY多项式的拟合适应度最高;方域和圆域内正交的泽尼克多项式在曲面拟合中优势显著;双变量正交切比雪夫多项式在方域内、阵列采样的情况下曲面拟合优势明显。
2022-01-19 16:55:28 9.23MB 光学设计 自由曲面 面形拟合 正交多项
1
Zernike多项式在拟合光学表面面形中的应用及仿真.pdf
2021-12-22 15:04:30 332KB Zernike 光学
1
基于Matlab软件对曲面方程已知的曲面面形误差求解与分析,郭家隆,, 磨削加工作为一种精密加工方法,已广泛应用于实际生产中来精加工曲面。但是,磨削之后曲面的面形质量好坏却难以直接判断,需�
2021-12-18 17:42:01 439KB 首发论文
1
斜率传感的平面元件面形检测是基于光线反射的几何原理和相位测量偏折术方法的光学面形检测技术,它能够快速、简便、准确地测量非球面面形及透射光学元件波前,也称偏折术或逆哈特曼测试系统。推导了平面元件斜率检测公式和面形恢复算法,使用可编码条纹的液晶显示器作为照明光源,四步相移法来识别显示器像素点坐标。针孔摄像机采集被测表面对条纹所成的像,将该系统用于有机玻璃板在加热条件下的面形测量,经计算机处理得到被测表面斜率数据。用方形域内标准正交矢量多项式拟合计算斜率数据得到有机玻璃板面形信息,对面形信息对比分析,然后对有机玻璃板在加压条件下的斜率变化进行了检测,与激光反射法计算的斜率变化结果进行对比。结果表明,该测试系统有动态范围大、装置简单、速度快、非接触、测试精度高等特点,为实际生产和应用提供了一种检测平面面形及动态变化过程监测的新手段。
2021-12-11 19:46:07 3.97MB 测量 光学测试 面形 矢量多项
1