为了测量光学元件多层膜膜厚均匀性指标,基于面形检测对多层膜均匀性测量方法进行了研究。分析了均匀性的测量过程以及影响因素,评估了元件面形检测复现性对测量结果的影响,建立了多层膜结构的有限元模型,计算分析膜层内应力对基底面形带来的影响。基于高复现性面形检测装置进行了测量方法的实验验证工作,实验结果表明:元件面形测量口径范围内膜厚分布均匀性优于0.1 nm[均方根(RMS)值];将测试结果转化为沿径向的轮廓分布结果,与基于反射率计的膜厚检测数据进行了对比,表明两种方法测试数据基本吻合,验证了基于面形检测方法评估光学元件多层膜均匀性的可行性。
2023-08-26 08:55:59 1.69MB 测量 光刻技术 有限元分 高复现性
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基于1560 nm 激光单次通过PPLN 晶体倍频到780 nm 激光的实验,分析了准相位匹配倍频过程中非线性转换系数与温度之间的关系。详细计算了考虑晶体极化周期的热膨胀时,晶体非线性转换系数和匹配温度的变化。采用有限元的方法,计算了激光穿过PPLN 晶体时,整个晶体和出射端面的温度场分布,并由此给出了出射面的非线性转换系数的分布情况,重点分析了晶体尺寸、光功率及散热方式对热效应的影响。仿真结果表明:增加晶体的宽度、采用导热性能好的材料作散热材料,并采用四面包围的散热方式有利于晶体的散热。
2023-02-18 20:17:06 4MB 非线性光 热效应 有限元分 PPLN
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基于微机电系统(MEMS)微加工技术和Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 (PMN-PT)电光材料设计的一维二进制码相位调制器(1D-BPM)可用于激光显示技术中的散斑消除。建立了1D-BPM数学模型,推导出电极在PMN-PT片内产生的电场和PMN-PT折射率变化导致通过的光束相位变化的关系。采用有限元分析方法仿真了电极几何尺寸对相位的影响,发现当电极尺寸在亚微米级时,两电极间相位分布不仅依赖于电极产生的电场大小,而且受到电极几何尺寸的影响。电极角效应是器件设计及优化时需考虑的重要因素。
2021-11-19 16:05:37 2.52MB 激光技术 PMN-PT 散斑消除 有限元分
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COSMOSWorks 有限元分析练习.
2021-06-03 09:02:22 619KB COSMOSWorks有限元分
ANSYS 基础指导托架有限元分析指导Word.rar
2021-04-19 18:02:33 191KB ANSYS基础指导托架有限元分
为了预测微透镜阵列玻璃模压成型过程中微结构的加工工艺参数,利用高级非线性有限元软件MSC.Marc进行微透镜阵列的有限元建模;将不同微结构宽度的阵列光学元件进行分组,利用有限元模型分别计算每组硫系阵列光学元件的微结构高度对等效米塞斯应力的影响,得到微结构宽度相同、高度不同的硫系玻璃微透镜阵列结构对模压成型后等效米塞斯应力的影响,对微结构宽度相同、高度不同的阵列光学元件的最大等效米塞斯应力进行数据拟合处理,得出各组等效米塞斯应力的趋势,获得适合模压的硫系玻璃Ge23Se67Sb10阵列光学元件的微结构高度与宽度之比。仿真结果表明:微结构高度越小,等效米塞斯应力越小;硫系玻璃微透镜阵列的等效米塞斯应力由中心到边缘逐渐增大,边缘处的等效米塞斯应力最大;当微结构高度与宽度之比大于0.322时,模压产生的等效米塞斯应力大幅增加。
2021-02-22 18:06:43 8.87MB 光学制造 玻璃模压 微透镜阵 有限元分
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