将众多SEMI协议集合到一个PDF文件里,包含: 主要包含标准: E4 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1: 消息传输基础,侧重于串口点对点通信,是底层通信协议。 E5 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2: 定义消息内容,包括设备状态监控、控制指令、物料与配方管理及异常处理。 E30 - GENERIC MODEL FOR...: 建立了设备通讯与控制的通用模型,是理解复杂制造装备通讯的基础。 E37 - HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES: 通过TCP/IP实现高速通讯,替代E4标准,适合现代网络环境。 E40 - Standard for Processing Management: 规定特定加工处理的管理标准,优化工艺流程。 E116 - Equipment Performance Tracking: 跟踪并分析设备性能,助力设备健康管理与故障诊断。 E84 - Specification For Enhanced...: 描述晶圆在AMHS中的高速传送标准,以及并行I/O接口规范,对构建无人工厂至关重要。 E87 - Specification For Carrier Management (CMS): 管理载具进出设备的过程,保证作业流程的顺畅与识别准确性。 E94 - Specification For Control Job Management: 进程控制标准,确保作业指令的有效执行。 E39 - Object Services Standard: 强调数据结构定义,为通用对象提供读/写服务,促进软件层面的互操作性。
2025-06-22 17:09:58 95.17MB semi SECS
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内容概要:SEMI E30-1103标准定义了制造设备(GEM)通信和控制的通用模型,旨在标准化半导体制造设备与主机之间的通信接口,提高自动化水平并降低开发成本。该标准涵盖了通信状态模型、控制状态模型、设备处理状态模型等多个方面,详细描述了设备如何通过SECS-II消息与主机进行交互,包括建立通信、数据收集、报警管理、远程控制、设备常数管理、工艺程序管理、材料移动、终端服务等功能。标准还定义了设备的多任务缓冲处理能力,以确保在通信故障期间数据不丢失。此外,标准提供了详细的事件报告机制,允许主机实时监控设备状态。 适用人群:半导体制造设备的研发人员、工程师和技术支持人员,特别是那些需要实现或维护SECS-II通信协议的人群。 使用场景及目标:①定义设备与主机之间的标准化通信接口,确保不同制造商的设备可以互操作;②通过事件报告和状态模型,主机可以实时监控设备状态并作出相应调整;③实现远程控制和数据收集,支持工厂自动化和过程优化;④提供报警管理和错误处理机制,确保设备安全运行;⑤通过多任务缓冲处理,保证通信故障期间的数据完整性。 其他说明:该标准不仅详细规定了设备的功能要求和实现方法,还提供了应用说明和示例,帮助用户更好地理解和实施标准。此外,标准强调了与SEMI E5(SECS-II消息内容)和其他相关标准的兼容性,确保了广泛的适用性和互操作性。用户在实施过程中应注意安全和健康实践,并确保遵守相关法规。
2025-06-22 17:09:19 13.7MB SECS-II 通信协议 半导体制造 设备控制
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​发布时间​:2004年,作为SECS-II标准的核心版本沿用至今。 ​扩展功能​: 新增对复杂数据结构(如晶圆映射、工艺管理)的支持。 细化流(Stream)与函数(Function)的定义,覆盖16个流(Stream 0至Stream 17),例如Stream 16用于工艺步骤协调。 ​改进点​: 明确事务超时机制(如T1-T4超时)和错误恢复逻辑 内容概要:SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II),该标准由全球信息与控制委员会批准,旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容,还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等,并详细规定了18个不同流的消息用途,涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外,SECS-II还涉及了计量单位的定义,并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是,SECS-II并不解决与使用相关的安全问题,用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群:从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师;参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标:①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信;②支持IC制造过程中常见的活动,如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等;③为用户提供灵活的消息定义机制,以适应特殊需求;④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准,从而简化设备集成过程。 其他说明:SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题,提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时,建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档,以获得更深入的理解和技术指导。
2025-06-22 17:08:12 2.66MB SECS-II SEMI 标准文档
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AT89C51单片机设计的智能空调控制系统:四种工作模式,按键与手机App遥控,半导体制冷除湿,超声波加湿,温湿度监测,LCD显示及完整设计文档,at89c51单片机设计的智能空调系统 制冷制热加湿除湿四个工作模式 按键和手机App遥控两种控制方式 半导体制冷片模拟除湿制冷 超声波雾化模块加湿 温湿度传感器检查环境温湿度 LCD液晶屏显示系统工作状态 全套包括实物成品,原理图,程序源码,设计文档。 ,at89c51单片机; 智能空调系统; 工作模式; 控制方式; 半导体制冷片; 超声波雾化模块; 温湿度传感器; LCD液晶屏; 实物成品; 原理图; 程序源码; 设计文档,基于AT89C51单片机的智能空调系统:四模式控制,双重遥控,温湿一体管理
2025-06-18 17:18:38 2.67MB css3
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有趣的是这些部件都可以用于桌面应用,HTML页面,和整个Windows脚本环境。 在第十二章中我们将详细讨论 它们。 快捷方式正确的命名 在Shell的4.71版本以后,一个称之为SHGetNewLinkInfo()的新函数对程序员是可用的。然而与你所希望的不同, 这个函数不能建立快捷方式。相反,它的用途在于为快捷方式安排一个正确的名字: BOOL SHGetNewLinkInfo(LPCTSTR pszLinkTo, LPCTSTR pszDir, LPTSTR pszName, BOOL* pfMustCopy, UINT uFlags); 这个函数接受路径名的指针或者目标对象的PIDL,这个参数存储在pszLinkTo之中。uFlags值指明它是PIDL还是路径 名。目标文件夹是pszDir。 这个例程将给出正在建立的快捷方式文件的名字。这个名字由pszName参量返回,并假设其缓冲长度为MAX_PATH 字符数。当你对已经存在的快捷方式建立快捷方式时,Shell并不建立新的连接,而是,简单地拷贝和修改这个目 标。pfMustCopy就用于这个目的,它返回一个布尔值来表示Shell是建立了一个快捷方式文件还是处理了一个拷 贝,TRUE表示pszLinkTo是一个已存在的快捷方式,此时Shell只拷贝和适当地修改它,FALSE则是建立一个全新的快 捷方式。 后的可用标志是: 标志 描述 SHGNLI_PIDL 如果设置,pszLinkTo变量将作为PIDL而不是串来考虑 SHGNLI_NOUNIQUE 如果设置,Shell将首先确定快捷方式的名字,而后检查可能的 冲突,如果名字与同文件夹中的另一个发生冲突,就重复操作, 直到找出唯一的名字为止。
2025-06-09 18:18:52 25.12MB Shell
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内容概要:SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II),该标准由全球信息与控制委员会批准,旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容,还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等,并详细规定了18个不同流的消息用途,涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外,SECS-II还涉及了计量单位的定义,并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是,SECS-II并不解决与使用相关的安全问题,用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群:从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师;参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标:①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信;②支持IC制造过程中常见的活动,如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等;③为用户提供灵活的消息定义机制,以适应特殊需求;④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准,从而简化设备集成过程。 其他说明:SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题,提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时,建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档,以获得更深入的理解和技术指导。
2025-06-03 14:25:47 12.15MB SECS-II SEMI
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内容概要:本文详细介绍了基于PID算法的单片机半导体温控系统的开发过程以及Proteus仿真效果。文中首先阐述了PID算法的核心计算方法,特别是位置式PID算法的应用,通过限制积分项防止过冲,确保系统的稳定性和精度。接着描述了硬件部分的设计,包括使用半导体致冷片作为执行器,利用PWM驱动H桥来实现升温和降温的快速切换。此外,还展示了LCD显示屏的定制化应用,实现了温度的实时监控。最后分享了调参过程中遇到的问题及解决方案,最终实现了从室温到60℃的精准控温。 适合人群:对嵌入式系统开发感兴趣的电子工程师、自动化专业学生以及从事相关领域的技术人员。 使用场景及目标:适用于需要进行精密温度控制的实验环境或产品开发中,旨在帮助读者掌握PID算法的实际应用技巧,提高温控系统的性能。 其他说明:附有完整的STM32标准库工程和Proteus8.12仿真文件,方便读者动手实践并深入理解整个系统的运作机制。
2025-05-19 21:50:00 6.2MB
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光纤温度检测技术是近些年发展起来的一项新技术,由于光纤本身具有电绝缘性好、不受电磁干扰、无火花、能在易燃易爆的环境中使用等优点而越来越受到人们的重视,各种光纤温度传感器发展极为迅速。目前研究的光纤温度传感器主要利用相位调制、热辐射探测、荧光衰变、半导体吸收、光纤光栅等原理。其中半导体吸收式光纤温度传感器作为一种强度调制的传光型光纤传感器,除了具有光纤传感器的一般优点之外,还具有成本低、结构简单、可靠性高等优点,非常适合于输电设备和石油井下等现场的温度监测,近年来获得了广泛的研究。但是目前的研究还存在一些问题,如系统模型不完善,基础理论尚不系统,产品化困难等。本文对这种传感器进行了详细研究,建立了系统的数学模型,并通过仿真和实验对系统特性和实际应用的难点进行了分析。 半导体式光纤温度传感器是光纤温度检测技术的一种重要应用,它基于半导体材料的吸收特性来实现温度的精确测量。光纤传感器因其独特的优点,如电绝缘性好、抗电磁干扰、无火花安全特性,使其在电力、石油等领域的温度监控中具有广泛应用潜力。半导体吸收式传感器以其成本低、结构简单和高可靠性脱颖而出。 半导体吸收式光纤温度传感器的工作原理是利用半导体材料(如GaAs)的本征吸收特性。当特定波长的光通过半导体时,会发生吸收现象,吸收强度与温度有关。普朗克常数h和频率v的关系揭示了吸收的频率界限vg,对应特定的本征吸收波长λg。对于直接跃迁型半导体如GaAs,其吸收波长会随温度变化,这一特性可用于温度传感。 系统建模中,传感器通常包括光源、光纤、探头、光电转换器等组件。光源一般选用具有适当光谱宽度的LED,例如本文中的880nm GaAlAs LED,其光谱覆盖吸收波长λT的变化范围。探头包含半导体材料,如120 μm厚的GaAs片,其透射率随温度变化,可以通过近似为三段直线的函数表达。光电二极管则将接收到的光信号转化为电信号,其光谱响应曲线可用指数分布的函数描述。 在实验研究中,搭建的系统平台包括光源、半导体片、光纤、光电二极管和温度可控的变温箱。选用的元件参数如光电二极管的光谱响应特性、光纤类型等,都是为了确保传感器性能的稳定和准确。通过实验,可以验证理论模型的正确性,分析传感器在不同温度下的响应特性,解决实际应用中的难题,如温度分辨率、稳定性、线性度等。 半导体式光纤温度传感器的建模、仿真与实验涉及光学、固体物理、电子学等多个领域,是多学科交叉的复杂系统。通过深入研究和实验验证,可以不断优化传感器性能,推动其在工业监测、安全防护等领域的实际应用。
2025-04-22 20:03:23 838KB 传感器与数据采集
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SECS ( Semiconductor Equipment Communication Standard ) 和 GEM ( Generic Equipment Model ) 是半导体制造行业中用于设备与自动化系统的通信标准。这些协议允许晶圆厂的生产设备与主机系统进行数据交换,包括生产指令、状态报告、报警信息等。在“半导体协议测试工具 SECSGEM300mm测试验证”中,我们关注的是针对300毫米(即12英寸)晶圆的设备进行的通信协议测试。 SECS协议主要包括两部分:HSMS (High-Speed Message Service) 和 EMS (Equipment Message Service)。HSMS用于高速传输实时数据,如设备运行状态和生产数据,而EMS则用于慢速、批量的数据交换,如设备配置和故障信息。GEM是基于SECS协议的应用层模型,为设备提供了标准化的接口,简化了设备与主机的集成工作。 C# WinForm是一种常用的Windows应用程序开发环境,结合.NET Framework,可以创建图形用户界面。在这个项目中,"实现C# WinForm完美集成"意味着开发者已经构建了一个使用C#语言和WinForm技术的用户界面,该界面能够无缝地与SECS/GEM协议交互,为用户提供友好的操作体验。 测试工具在半导体制造业中至关重要,因为设备的准确性和稳定性直接影响到产品的质量和产量。测试工具通常包括以下几个方面: 1. **协议一致性测试**:确保设备按照SECS/GEM标准正确地发送和接收消息。 2. **功能测试**:验证设备的各项功能是否正常工作,如温度控制、物料处理等。 3. **性能测试**:评估设备在高速通信、响应时间等方面的表现。 4. **兼容性测试**:检查设备是否能与其他系统或设备顺利配合。 5. **稳定性测试**:长时间运行设备,确认其在各种条件下的可靠性。 文件列表中的“使用说明更多帮助.html”可能是测试工具的用户指南,包含详细的操作步骤和常见问题解答。“Readme_download.txt”通常是软件下载包中的说明文件,可能包含安装、配置和更新的信息。“300mm测试”可能是一个测试案例集或者测试报告,记录了对300mm晶圆设备的测试结果和分析。 了解这些内容后,我们可以深入学习SECS/GEM协议的细节,掌握如何使用C# WinForm来开发和调试接口,以及如何有效地进行半导体设备的测试验证。这对于半导体行业的工程师和开发者来说,是一项非常有价值的技能,它能够帮助他们优化生产流程,提升设备性能,从而提高整体的生产效率。
2025-04-10 23:44:40 4.27MB 测试工具
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类比半导体DR703驱动是针对特定电机驱动芯片设计的软件组件,它在电子工程领域扮演着至关重要的角色。DR703是一款高性能、高效率的电机控制集成电路,广泛应用于自动化设备、机器人、无人机以及各类工业控制系统中。驱动程序是计算机与硬件设备之间的桥梁,确保操作系统能够正确识别和管理硬件资源,而DR703驱动则是让计算机能够有效控制DR703芯片,从而精确地驱动电机运行的关键。 DR703驱动程序的主要功能包括: 1. 初始化配置:驱动程序在安装时会设置DR703芯片的工作模式、电流限制、PWM频率等参数,确保芯片能根据应用需求正常工作。 2. 数据传输:驱动程序负责在CPU和DR703之间传输指令和数据,例如电机速度、方向控制信号以及实时的电机状态反馈。 3. 错误处理与保护:当DR703检测到过流、过热或其他异常情况时,驱动程序会接收并解析这些错误信息,采取相应措施避免损坏硬件,并向用户报告问题。 4. 功能扩展:除了基本的驱动功能,高级的DR703驱动可能包含复杂的控制算法,如PID调节、磁场定向控制(FOC),以实现更精细的电机控制。 5. 软件兼容性:驱动程序需兼容不同的操作系统,如Windows、Linux或RTOS,确保在各种环境下都能稳定运行。 6. 用户接口:提供API函数或图形界面,使得开发者或用户能够方便地设置和监控DR703芯片的工作状态。 压缩包文件"DR703_C"可能包含以下内容: 1. 驱动程序源代码:程序员可以查看和修改源代码,以便针对特定应用场景进行定制。 2. 驱动安装程序:用于在用户的计算机上安装DR703驱动,使得系统识别并正确操作DR703芯片。 3. 开发工具和库:可能包含编译器、调试器和其他辅助开发工具,帮助工程师快速集成和测试DR703驱动。 4. 文档资料:包括用户手册、API参考、示例代码等,帮助用户理解和使用DR703驱动。 在实际应用中,工程师需要根据具体项目需求选择合适的驱动程序,正确安装并配置,然后通过编程控制DR703芯片来达到理想的电机控制效果。同时,理解驱动程序的工作原理和结构,对于故障排查和性能优化也至关重要。因此,掌握DR703驱动的使用是提升系统性能、实现高效电机控制的关键步骤。
2025-04-09 10:44:42 2KB 驱动程序
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