【半导体设备通信SECS协议文档】SEMI 标准合集(原版-高清英文版)

将众多SEMI协议集合到一个PDF文件里，包含： 主要包含标准： E4 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1: 消息传输基础，侧重于串口点对点通信，是底层通信协议。 E5 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2: 定义消息内容，包括设备状态监控、控制指令、物料与配方管理及异常处理。 E30 - GENERIC MODEL FOR...: 建立了设备通讯与控制的通用模型，是理解复杂制造装备通讯的基础。 E37 - HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES: 通过TCP/IP实现高速通讯，替代E4标准，适合现代网络环境。 E40 - Standard for Processing Management: 规定特定加工处理的管理标准，优化工艺流程。 E116 - Equipment Performance Tracking: 跟踪并分析设备性能，助力设备健康管理与故障诊断。 E84 - Specification For Enhanced...: 描述晶圆在AMHS中的高速传送标准，以及并行I/O接口规范，对构建无人工厂至关重要。 E87 - Specification For Carrier Management (CMS): 管理载具进出设备的过程，保证作业流程的顺畅与识别准确性。 E94 - Specification For Control Job Management: 进程控制标准，确保作业指令的有效执行。 E39 - Object Services Standard: 强调数据结构定义，为通用对象提供读/写服务，促进软件层面的互操作性。