【半导体设备通信】SEMI E5-1104标准(中文版)：SECS-II消息内容定义及应用详解

内容概要：SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II)，该标准由全球信息与控制委员会批准，旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容，还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等，并详细规定了18个不同流的消息用途，涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外，SECS-II还涉及了计量单位的定义，并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是，SECS-II并不解决与使用相关的安全问题，用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群：从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师；参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标：①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信；②支持IC制造过程中常见的活动，如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等；③为用户提供灵活的消息定义机制，以适应特殊需求；④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准，从而简化设备集成过程。 其他说明：SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题，提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时，建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档，以获得更深入的理解和技术指导。