In-vitro Electrochemical Stability Evaluation of a Flexible MEMS Microelectrode of a Flexible MEMS Microelectrode

With the development of MEMS sensors, pedestrian navigation has been a popular research. The paper realizes step detection and estimation for step length by only vertical accelerometer. It determines initial heading using accelerometers and magnetometers and calculates latter heading using gyroscopes by strap-down inertial navigation algorithm. Afterwards, it achieves the positioning goal for pedestrian using dead reckoning method. Definitively, the effectiveness of this approach is demonstrated

esp32-i2s-slm：带有ESP32和I2S MEMS麦克风的声级计

MEMS数字 模拟麦克 MIC选型 I2S PDM TDM MIC 技术资料

中国惯性导航行业精品报告

MEMS技术及其应用，李德胜编，哈尔滨工业大学出版社

Stim300器件的说明手册，这是一种不错的手册，包含一些列的数据格式

MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写，即微电子机械系统，是利用微米/纳米技术基础，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的 21 世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元，不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息采取行动。 与传统机械系统相比，MEMS 系统具备以下优势： ①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 ②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。 ③高精度和长寿命：由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好，不需校正调整，提高了可靠性。 ④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。

ST官网的LSM303D驱动代码

微系统近年来迅速发展，本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计