matlab二维光栅代码

Raith_GDSII：用于Raith电子束光刻（EBL）和聚焦离子束（FIB）工具的MATLAB工具

聚焦离子束法制备金属材料的TEM试样，申华海，向霞，制备制备高质量的透射电镜试样是获得材料完整结构信息的基础，聚焦离子束技术已被有效地应用于制备各种材料的透射电镜试样。对于

用于Zeiss Auriga 场发射聚焦离子束电子束双束显微镜的软件操作说明书

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infn-lnl-ibsimu:LNL-INFN上的离子束模拟

完整英文版 IEC 60601-2-64：2014 Medical electrical equipment - Part 2-64：Particular requirements for the basic safety and essential performance of light ion beam medical electrical equipment（医用电气设备 - 第 2-64 部分：轻离子束医用电气设备的基本安全和基本性能的特殊要求）。IEC 60601-2-64:2014 适用于用于治疗患者的光离子束医疗电气设备（以下简称 ME 设备）的基本安全和基本性能。该特定标准包括型式试验和现场试验，分别适用于人体医疗实践中用于放射治疗的 ME 设备的制造和某些安装方面，包括那些可以通过以下方式自动控制操作参数的选择和显示的设备。可编程电子子系统，其在正常使用中提供每核子能量在 10 MeV/n 至 500 MeV/n 范围内的光离子辐射束。

对氧化物薄膜的双离子束溅射沉积作了系统地实验研究。考察了离子束溅射工艺参数对薄膜光学特性的影响，制备了折射率接近于块材料的TiO2和ZrO2薄膜，显著降低了TiO2、ZrO2和SiO2薄膜的光吸收损耗，TiO2和ZrO2薄膜的抗激光损伤阈值得到显著提高。用双离子束溅射沉积1.06 μm多层高反膜，得到了大于99.5%的高反射率，经高温退火处理的双离子束溅射沉积高反膜的抗激光损伤阈值同热蒸发沉积的高反膜相比有所提高。

针对通信波段设计并制作了楔形波导层的导模共振滤波片（GMRF），分析并研究了其光谱特性。采用三角掩模板的方法进行离子束刻蚀，刻蚀一定次数后获得楔形波导层。光栅线条方向分为平行于和垂直于楔形波导层变化的方向。实验结果表明，对于两种结构，共振峰的位置与滤波片上的位置呈近似线性关系。光栅刻槽平行于楔形层变化的方向时共振峰的半峰全宽较光栅刻槽垂直于楔形层变化的方向时大。最终在20 mm的样品上，获得了线性渐变的Ta2O5楔形薄膜，其反射谱在1560~1600 nm范围内近似于线性变化。