MEMS技术及其应用，李德胜编，哈尔滨工业大学出版社

Stim300器件的说明手册，这是一种不错的手册，包含一些列的数据格式

MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写，即微电子机械系统，是利用微米/纳米技术基础，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的 21 世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元，不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息采取行动。 与传统机械系统相比，MEMS 系统具备以下优势： ①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 ②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。 ③高精度和长寿命：由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好，不需校正调整，提高了可靠性。 ④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。

ST官网的LSM303D驱动代码

微系统近年来迅速发展，本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计

UKF姿态估计算法。同时，另有十种论文中常见姿态估计方法如：EKF姿态估计、、Madgwick算法、Mahony算法、PX4姿态估计、四元数、扩展信息滤波、tride、DCM等等 有数据，有参考文献

分析获取的干涉图，熟练掌握MATLAB的操作，了解还原表面形貌的基本算法，编写适合的算法仿真出微结构表面形貌。 技术要求： （1）会分析所获取的微结构表面形貌干涉图； （2）熟练掌握MATLAB的操作； （3）熟悉处理干涉图的相应算法； （4）仿真出微结构的表面形貌。

对IMU基础知识进行讲解，并对误差分析，对IMU的标定技术进行实验分析

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基于MEMS传感器的步态检测代码，用matlab仿真实现，大家可以参考！