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MEMS
惯性测量组合.zip
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2021-07-26 15:02:15
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MEMS
工艺集成
MEMS
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2021-07-20 15:15:45
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2021-07-20 15:14:48
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Yole_Status_of_the_
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A
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用于振动能量收集的
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压电悬臂梁阵列,赵兴强,温志渝,针对振动能量收集,设计了一种压电悬臂梁微阵列。提出了器件的单自由度分析模型,并采用有限元方法进行了验证。选用氮化铝作为压
2021-07-15 05:46:58
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