您所要做的就是将加速度计放置在 9 个不同的静态位置并记录 x、y 和 z 值。 该过程利用了这样一个事实，即在静态条件下，加速度计输出矢量的模数与重力加速度的模数相匹配。 校准模型包含每个轴的偏差和比例因子以及交叉轴对称因素。 参数通过高斯-牛顿非线性优化计算。
使用的数学模型是 A = M(V - B) 其中 M 和 B 分别是比例因子矩阵和偏置向量。 M = [ Mxx Mxy Mxz; Myx Myy Myz; Mzx Mzy Mzz]; 其中 Mxy = Myx; Myz = Mzy; Mxz = Mzx; B = [ Bx; 经过; ]; M 的对角线元素表示沿三个轴的比例因子，而 M 的其他元素称为横轴因素。 这些术语允许描述轴的未对准和不同通道之间引起的串扰效应通过传感器电子设备。 在理想世界中，M = 1； 乙 = 0
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1. CalibAcc
2021-08-27 18:40:11
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MEMS与微系统
第三章 微系统制造技术
(四)其他技术与工艺集成
目录：
其他微加工技术
三维MEMS结构
工艺集成
封装
2021-08-27 12:07:31
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1
行业-电子政务-一种可增加MEMS超级电容器电极比表面积的斜光刻方法.zip
2021-08-23 13:03:59
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