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A MEMS Piezoelectric Cantilever Beam Array for Vibration Energy Harvesting
A MEMS Piezoelectric Cantilever Beam Array for Vibration Energy Harvesting
上传者:
38714532
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上传时间: 2021-07-15 05:46:58
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文件大小: 317KB
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文件类型: PDF
首发论文
用于振动能量收集的MEMS压电悬臂梁阵列,赵兴强,温志渝,针对振动能量收集,设计了一种压电悬臂梁微阵列。提出了器件的单自由度分析模型,并采用有限元方法进行了验证。选用氮化铝作为压
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