光刻中刻蚀工艺特点.doc

EUV光刻技术-经济高效且适合大规模生产的工艺，晶圆被暴露于波长为13.5纳米的超紫外线（EUV）。通过这种方式，提高了芯片制造商的生产效率和利润。.mp4

光刻十步法：表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀—光刻胶去除—最终目检.doc

华林科纳解析RCA湿法腐蚀清洗机及光刻机制造工艺.doc

光刻机的介绍，明细，各种使用方法等等

描述了光刻机及行业现状，浸润式光刻机，各种制程，ASML

一个关于微纳加工的课件，讲了微纳加工的发展、光刻、力学、热学、摩擦等等。不错的，值得看

主要内容： 本课程围绕超大规模集成电路制造中的先进光刻技术，陈 述与之相关的理论、设备、材料、测量与控制等。为了适应当前先进光 刻的需求，本课程会重点讲述在14nm及以下节点广泛使用的计算光刻、 分辨率增强技术以及设计-工艺联合优化技术等。 • 授课目标： 掌握光刻技术的原理，对计算光刻技术进行深入研讨 • 授课对象： 微电子学与固体电子学专业，集成电路制造专业研究生

光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以继续。本书覆盖现代光刻技术的重要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺。在设备部分，对业界使用的主流设备进行剖析，介绍其原理结构、使用方法、和工艺参数的设置。在材料部分，介绍了包括光刻胶、抗反射涂层、抗水涂层、和使用旋图工艺的硬掩膜等材料的分子结构、使用方法，以及必须达到的性能参数。本书按照仿真技术发展的顺序，系统介绍基于经验的光学邻近效应修正、基于模型的光学邻近效应修正、亚曝光分辨率的辅助图形、光源-掩模版共优化技术和反演光刻技术。如何控制套刻精度是光刻中公认的技术难点，本书有一章专门讨论曝光对准系统和控制套刻精度的方法。另外，本书特别介绍新光刻工艺研究的方法论、光刻工程师的职责，以及如何协调各方资源保证研发进度。

Nanotechnology has great potential in manufacturing, manipulating, observing, and functioning of materials, and understanding the physics and chemistry at the nanoscale, but it is limited to surface science and technology in two dimensions, with use of, for example, e-beam, ion beam, light beam, and atomic force through the processes of illumination, deposition, etching, andmodification of the surface. Available nanotechnological devices such as nanoelectronic circuits, high-density data storage, liquid-crystal displays, and micro and nanoelectromechanical systems (MEMSs and NEMSs) are all basically of two dimensions. However, future nanotechnology, in particular nanomanufacturing, should be made in three dimensions similar to the existing ordinary machinery. In the book Engines of Creation: The Coming Era of Nanotechnology (Doubleday, 1986), the author Eric Drexler discusses future nanotechnologies such as molecular assemblers, atom-by-atom building, and self-replicating machines. In the novel Prey (Harper Collins, 2002), Michael Crichton describes a machine that makes nanobots from bacteria, which turn into a nano-swarm attacking humans. The nanomachines appearing in those books are all three-dimensional machines.