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光刻十步法:表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀—光刻胶去除—最终目检.doc
光刻十步法:表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀—光刻胶去除—最终目检.doc
上传者:
jfkj2021
|
上传时间: 2021-01-28 12:08:30
|
文件大小: 26KB
|
文件类型: DOC
光刻
光刻十步法:表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀—光刻胶去除—最终目检.doc
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