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磁控溅射
薄膜附着性能的影响因素
磁控溅射
薄膜附着性能的影响因素,宋文龙,邓建新,
磁控溅射
薄膜技术应用日趋广泛,其中溅射薄膜的附着性是制约薄膜性能和使用的关键因素。结合作者已有研究,参考国内外现有的资料
2021-11-10 17:08:21
340KB
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