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磁控溅射薄膜附着性能的影响因素
磁控溅射薄膜附着性能的影响因素
上传者:
38742453
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上传时间: 2021-11-10 17:08:21
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文件大小: 340KB
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首发论文
磁控溅射薄膜附着性能的影响因素,宋文龙,邓建新,磁控溅射薄膜技术应用日趋广泛,其中溅射薄膜的附着性是制约薄膜性能和使用的关键因素。结合作者已有研究,参考国内外现有的资料
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