为了测量光学元件多层膜膜厚均匀性指标,基于面形检测对多层膜均匀性测量方法进行了研究。分析了均匀性的测量过程以及影响因素,评估了元件面形检测复现性对测量结果的影响,建立了多层膜结构的有限元模型,计算分析膜层内应力对基底面形带来的影响。基于高复现性面形检测装置进行了测量方法的实验验证工作,实验结果表明:元件面形测量口径范围内膜厚分布均匀性优于0.1 nm[均方根(RMS)值];将测试结果转化为沿径向的轮廓分布结果,与基于反射率计的膜厚检测数据进行了对比,表明两种方法测试数据基本吻合,验证了基于面形检测方法评估光学元件多层膜均匀性的可行性。
2023-08-26 08:55:59 1.69MB 测量 光刻技术 有限元分 高复现性
1
zemax操作帖对应的文件
2022-10-23 15:40:52 7KB zemax
1
本文研究提出了一种时空滤波相结合的非均匀性校正算法。该算法首先用全局 滤波器把输入的原非均匀性图像信息分成空间高频和低频两部分,然后用高频成分来 估计非均匀性校正参数
2022-05-14 09:17:09 3.35MB 算法研究
1
动画红外图象自适应非均匀性校正算法的研究与实现.doc
2022-05-07 19:09:44 794KB 算法 文档资料 动画
基于背景噪声研究云南地区面波速度非均匀性和方位各向异性
2022-05-02 14:06:54 1.24MB 文档资料
红外图像的非均匀性校正,用于图像处理关键字有自适应性,非均匀性校正,红外焦平面系统,红外成像
2022-02-28 22:27:06 480KB 红外
1
近红外激光照明器均匀性评价技术研究.pdf
2022-01-17 22:41:35 312KB 近红外 照明均匀性
1
红外焦平面阵列(IRFPA)的非均匀性是其应用中必须解决的技术难题之一。基于小波理论,提出了一种基于成像场景的红外焦平面非均匀性校正算法。该算法选择合适的小波函数对红外成像序列进行小波分解,而后对分解的信号计算出相应的统计量,从而得出红外焦平面非均匀性校正的偏置和增益校正系数,以此最终实现非均匀性校正。对真实红外序列图像的处理效果验证了该算法可较好地实现非均匀性校正。此外该算法对慢变化量具有较好的自适应性,可较好地抑制一般基于场景统计的非均匀性校正算法中出现的“人工虚影”的现象。
2021-12-22 09:38:12 933KB 成像系统 红外焦平 非均匀性
1
分别分析了红外焦平面阵列(IRFPA)基于定标的非均匀性校正(NUC)算法和基于场景的NUC算法的优势和问题。在此基础上提出了联合NUC算法,其中利用基于定标的两点校正法来初步消除探测器的非均匀性,然后再采用基于场景的时域高通校正法和新型自适应滤波校正法来抑制探测器非均匀性参数漂移的影响,同时减弱系统噪声对成像质量的破坏。实验结果表明,与两点法、时域高通法以及传统自适应滤波法等具有较大工程应用价值的NUC算法相比,联合NUC算法具有稳定而且性能更为优良的校正效果。
2021-12-22 09:37:14 1.66MB 红外技术 红外焦平 联合非均 infrared
1
医学-双坩埚实时给料技术改善钽铌酸钾晶体均匀性的方法.zip
2021-11-13 09:03:39 507KB