An.Introduction.to.Microelectromechanical.Systems.Engineering 英文版pdf mems经典

具有宽带可调范围和微型尺寸的K波段微机电系统（MEMS）可调带通滤波器能够满足多波段卫星通信系统的要求。 设计，分析，制造和测量了新颖的21.69–24.36 GHz MEMS可调带通滤波器。 本文还设计并分析了一个电感调谐慢波谐振器，该谐振器由MEMS电容开关，MEMS电容器和短金属线组成。 通过改变MEMS开关的电容值，所提出的滤波器具有四个不同的工作状态。 测量结果表明，对于所有四种状态，插入损耗分别为24.36、23.2、22.24和21.69 GHz时为2.81、3.27、3.65和4.03 dB。 激励电压分别为0、20、16和26V。 可调滤波器的3 dB带宽分别为5.4％，6.2％，5.7％和5.9％。 这项研究为具有宽频率可调范围的微型毫米可调滤波器的设计做出了贡献。