■晶圆检测　　目的：检测晶圆盒中的晶圆　　应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。　　传感器：M12E2LD & Q23SN6R w/AR19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝　　 　　　　■300mm晶圆检测　　目的：检测300mm FOUP中晶圆的有无　　应用：两个PicoDot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用PD45VN6C50.　　传感器：PD45VN6C200

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