利用氟化氪(KrF)脉冲准分子激光烧蚀沉积(PLD)技术,通过对激光等离子体的粒子成分以及空间分布的诊断,实现了等离子体成分的选择性沉积。在不降低光谱范围和透过率指标的前提下,解决了类金刚石(DLC)薄膜和硫化锌(ZnS)基底的牢固结合问题; 通过改进基底平台的扫描方式,在激光烧蚀沉积工艺中沉积了80 mm的大面积均匀类金刚石薄膜。制备的类金刚石/ZnS镀膜样品,光谱范围为0.53～12 μm,其中1.3～11 μm波段透过率在70%以上,膜层均匀性优于95%,可耐受环境湿度95%～100%,工作温度-45～85 ℃,附着力达到国军标要求。研究表明,利用类金刚石薄膜可以明显提高ZnS材料的耐冲击、耐高温、耐辐射和抗沙粒、盐、雾和尘埃的磨损侵蚀等能力。

行业分类-物理装置-检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法.zip

主要介绍了先制备胶体光子晶体,再进行光子线路加工的方法。这种方法的优点在于光子线路内胶体粒子的排布可以不受线路形状和宽度的影响,各处都保持六方密堆积结构,这就使得光子线路在各点具有相同的光学性质,因此这种方法适用于大规模的光子芯片制备。

设计了一种应用于KrF准分子激光波面整形的二元光学元件(BOE),实现了将波面整形变换为巴特沃斯(Butternorth)分布。采用盖师贝格-撒克斯通(Gerchberg-Saxton,GS)算法实现优化设计,使用MATLAB软件模拟入射和出射光场。通过对比迭代次数分别为10、100和1000次的模拟结果,研究盖师贝格-撒克斯通算法中迭代次数对整形效果的影响。模拟出迭代次数为106次的整形结果,并且得到二元光学元件的相位分布。模拟结果表明,出射光场呈巴特沃斯分布,实现了波面整形,矩形光斑能量占总能量的75.62%,能量的利用率较高,其均匀性的均方根(RMS)误差为0.1394%。

本文叙述采用输出波长为308nm的XeCl准分子激光器进行微米级接触式光刻实验.获得1.5μm的分辨线条,而2.25μm线条已符合集成电路光刻要求.

本文描述了稀有气体卤化物准分子介质中光强的弛豫振荡,使用的高压混合气体由稀有气体.卤素和相应地缓冲(稀有)气体所组成.借助氩离子激光束(514.5nm)探测激活介质,测得三原子准分子Xe_2Cl的弛豫振荡周期值为4nm左右.系统用相对论强电子束进行泵浦.在对准分子介质的光学增益观测中,发现了光场强度弛豫振荡的有趣现象.这种振荡表明了光强与被激励介质间的相互作用.本文首次描述了准分子介质中的这种振荡,其物理学机制可以认为是:光强增加导致受激发射速率增加使得粒子数反转下降,这就引起光学增益减小,而光学增益的减小反过来又导致光强的减弱.我们假设,高压混合气体被电子束泵浦后形成均匀加宽的四能级系统,而

受激喇曼散射可以将紫外准分子激光辐射频移到特定的近紫外和可见光波长.采用喇曼整形技术还可以获得衍射极限发散角的斯托克斯输出.本文研究了注入光束质量对喇曼整形的影响,并求得不同氢压力下的喇曼增益系数和饱和参量.

本文通过振动-旋转耦合的旋转谱线计算,解释了XeCl准分子激光的超精细光谱结构.计算结果与实验很好地符合.

采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验, 获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌, 并分析了微观作用机制。结果表明, 193 nm准分子激光辐照SiC陶瓷时既产生光热作用又产生光化学作用, 其中光热作用占主导; SiC表面损伤的宏观形貌与激光辐照参数相关, 辐照脉冲数增加或单脉冲能量增加均会加重辐照损伤, 增大激光重复频率会导致辐照损伤深度略微下降。