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利用准分子激光微加工系统制备光子晶体线路 (2009年)
利用准分子激光微加工系统制备光子晶体线路 (2009年)
上传者:
38741966
|
上传时间: 2021-06-13 09:03:58
|
文件大小: 1.62MB
|
文件类型: PDF
自然科学
论文
主要介绍了先制备胶体光子晶体,再进行光子线路加工的方法。这种方法的优点在于光子线路内胶体粒子的排布可以不受线路形状和宽度的影响,各处都保持六方密堆积结构,这就使得光子线路在各点具有相同的光学性质,因此这种方法适用于大规模的光子芯片制备。
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