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用紫外准分子激光器进行接触式光刻的初步研究
用紫外准分子激光器进行接触式光刻的初步研究
上传者:
38656337
|
上传时间: 2021-02-25 17:05:32
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文件大小: 2.61MB
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文件类型: PDF
论文
本文叙述采用输出波长为308nm的XeCl准分子激光器进行微米级接触式光刻实验.获得1.5μm的分辨线条,而2.25μm线条已符合集成电路光刻要求.
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