由于国内半导体设备自动化发展较晚，好多老设备应用的是串口SECSI协议，特贡献一份底层协议代码，可编译运行的C#代码

半导体通讯协议SECS-I SECS-II HSMS GEM讲解,SECS协议资料，防真器，用户手册

SEMI组织制定的SECS-II标准，用于半导体生产系统CIM与设备机台间通过网口进行通信

SECS 通讯协议介绍 E5, 想从事半导体设备自动化开发的，可以了解一下

secs4java8 介绍 该库是Java8上SEMI-SECS通讯的实现。 技术支持 SECS-I（SEMI-E4） SECS-II（SEMI-E5） 创业板（SEMI-E30，部分） HSMS-SS（SEMI-E37.1） 创建Communicator实例并打开 对于使用HSMS-SS-Passive的示例 /* HSMS-SS-Passive open example */ HsmsSsCommunicatorConfig config = new HsmsSsCommunicatorConfig (); config . protocol( HsmsSsProtocol . PASSIVE ); config . socketAddress( new InetSocketAddress ( " 127.0.0.1 " , 5000 ));

GEM/SECS模拟工具Simulator. 能与E5,E37的程序无接缝连接，能与任何其他支持secs的设备或EAP稳定连接.程序主要用于测试。 使用可视化SML语言编辑通讯内容。

SECS E30-1000,Generic model for communications and control of manufacturing equipment

SECS-GEM(HSMS)调试通讯工具与说明书，对于学习半导体通讯协议与SECS-GEM的开发有很大帮助，用于开发制造业工业4.0大数据的CIM系统。

SECS/GEM E37中文手册，机器翻译非人工,可以拿来参考参考

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