半导体行业标准测试工具,支持EAP SECSI HSMS SECSII 通信模拟器(支持RS232和TCP)
2022-11-09 16:03:59 630KB SECS HSMS
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PPT讲解SEMI的半导体设备通讯标准,概况描述E4,E5,E30,E37的内容,及其关系。入门课程,全面了解。
2022-06-03 09:14:12 621KB SECS 1/2 SECS GEM
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由于国内半导体设备自动化发展较晚,好多老设备应用的是串口SECSI协议,特贡献一份底层协议代码,可编译运行的C#代码
2021-08-20 15:39:56 401KB SECSI RS232 代码 SECS
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由于国内半导体设备自动化发展较晚,和设备通信的时候需要用到SECS通信模拟器,很多模拟器只支持HSMS即tcp却不支持RS232,本模拟器支持串口SECSI通信和HSMS通信,可以方便大家调试设备
2019-12-21 21:02:39 490KB EAP SECSI HSMS 模拟器
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