ACT_Piezo & MEMS Extension_WS5 - Thermoelastic Damping.pdf

MEMS陀螺仪的原理、分类和在不同行业中的应用

陀螺传感器—基于三轴加速度传感器的跌倒检测，利用角动量守恒原理 The principle of conservation of angular momentum ，实现转轴指向是不随承载它的支架的旋转而变化 The axis pointing is not carrying it with the bracket rotating change。

MAV由于体积和负载能力极为有限,因此,减小和减轻飞控导航系统的体积及重量,就显得尤为重要。本文基于MEMS加速度传感器,设计一种双轴倾角计,该装置精度高、重量轻,可满足MAV的姿态角测量要求,也可用于其他需要体积小、重量轻的倾角测量设备上。

针对应用领域中判断水平面及水平面夹角的问题,设计一种倾斜姿态角传感器。把MEMS加速度计SCA103T-D04与C8051F47单片机组合在一起,对MEMS加速度计输出信号进行调理和AD采集,单片机C8051F047完成数据分析和温度补偿,并通过CAN总线通讯接口和RS232通讯接口输出倾斜角度值,输出周期为200ms。该倾斜姿态角传感器测量精度为0.03°,测量范围为-6°?6°,具有体积小、重量轻、精度高、温度适应范围宽的特性,可广泛应用于建筑、道路、桥梁及军用设备等领域。

提出了一种基于组合广义形态滤波器（CGMF）的自适应多尺度方法，用于对来自MEMS陀螺仪的输出信号进行去噪。 采用变分模式分解将原始信号分解为多尺度模式。 在选择了结构元素（SE）的长度选择之后，自适应多尺度CGMF方法降低了与不同模式相对应的噪声，此后获得了去噪信号的重建。 通过对降噪效果的分析，本方法的主要优点是：（i）与常规形态滤波器（MF）相比，有效地克服了由数据偏差引起的缺陷； （ii）有效地针对噪声的不同成分，并提供降噪功效，不仅主要消除噪声，而且使波形平滑； （iii）解决了MF的SE长度选择问题，并产生了可行的指标公式，例如功率谱熵和均方根误差，用于模式评估。 与现有的其他信号处理方法相比，该方法结构简单，合理，具有较好的噪声抑制效果。 实验证明了该去噪算法的适用性和可行性。

引言 　　随着商业和军事系统日益向小型化、智能化和灵活化系统的发展，对于低费用、重量轻和高性能天线的设计需求也日益增加。其中，相控阵天线作为一种智能化系统得到了很大的发展。而作为相控阵天线关键组成部分的无源移相器，由于其相对简单，故硬件结构成为一个重要的技术。传统电子移相器通常使用p2i2n 二极管、MESFETs 或者p HEMT 作为开关在不同电长度信号线之间进行切换，以得到所需的相移。这些半导体开关的损耗问题抑制了传统多位移相器向更高频率的发展。 　　随着RF MEMS 技术的出现，在毫米波频率，RF MEMS 开关成为低损耗移相器和其他控制电路设计的一个关键的革新技术。RF MEM

现在市面上的可穿戴设备越来越多，对于可穿戴设备，尤其是手腕式的可穿戴设备的竞争日益激烈。对于可穿戴设备的研究核心在于可穿戴传感器的研究。可穿戴设备的功能日趋强大与其内部使用的可穿戴传感器数量的增加和性能提高息息相关。本文基于MEMS 六轴传感器技术，目的在于设计出一套可以用于运动轨迹检测的可穿戴设备。利用现有的蓝牙4.0 技术，将六轴传感器收集到的数据实时传送到上位机，通过MATLAB 等仿真软件以及合理的数据处理，得到最接近现实的运动轨迹。

早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。

具有宽带可调范围和微型尺寸的K波段微机电系统（MEMS）可调带通滤波器能够满足多波段卫星通信系统的要求。 设计，分析，制造和测量了新颖的21.69–24.36 GHz MEMS可调带通滤波器。 本文还设计并分析了一个电感调谐慢波谐振器，该谐振器由MEMS电容开关，MEMS电容器和短金属线组成。 通过改变MEMS开关的电容值，所提出的滤波器具有四个不同的工作状态。 测量结果表明，对于所有四种状态，插入损耗分别为24.36、23.2、22.24和21.69 GHz时为2.81、3.27、3.65和4.03 dB。 激励电压分别为0、20、16和26V。 可调滤波器的3 dB带宽分别为5.4％，6.2％，5.7％和5.9％。 这项研究为具有宽频率可调范围的微型毫米可调滤波器的设计做出了贡献。