光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台，它要求在系统高速运动的同时，采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式，实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度，必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法，该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化，补偿系统中的各种扰动，再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿，减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下．控制器实现了自抗扰控制，前馈控制器很好的补偿了误差，从而提高了系统的抗干扰和跟踪

永磁同步直线电机simulink仿真

2.1 基本概念 1 变量 和其它高级语言一样，MATLAB 也是使用变量来保存信息。变量由变量名表示，变量 的命名应遵循如下规则： （１）变量名必须以字母开头； （２）变量名可以由字母、数字和下划线混合组成； （３）变量名区分字母大小写； （４）变量名的字符长度不应超过 31 个。 在 MATLAB 中还存在着一些系统默认的固定变量，如表 2-1 所示，即在 MATLAB语 句中若出现固定变量名，则系统就将其赋以默认值。 MATLAB 的变量分为字符变量和数值变量两种，字符变量必须用单引号括起来。例 如，用户可输入： a='happy new year' 则表示将字符串‘happy new year’赋值给字符变量 a。 若用户输入： b=365 则表示将数值 365 赋值给数值变量 b。 和其它高级语言不同的是，MATLAB 使用变量时不需要预先对变量类型进行说明， MATLAB 会自动根据所输入的数据来决定变量的数据类型和分配存储空间。 2 数值 在 MATLAB 内部，每一个数据元素都是用双精度来表示和存储的，大约有 16 位有效 数字。其数值有效范围约为 10-308~10+308。 但在进行数据输入输出时，MATLAB 却可以用不同的格式。如果参加运算的每一个元 素均为整数，则 MATLAB将用不加小数点的纯整数格式显示运算结果，否则则按缺省的输 出格式显示结果。MATLAB 的缺省格式为 short 格式，该格式显示运算结果为保留小数点 变量名 默认值 i 虚数单位 1− j 虚数单位 1− pi 圆周率π inf 无穷大 表 2-1 MATLAB 的固定变量

永磁直线同步电机(PMLSM)要实现高性能矢量控制,需要知道精确的位置及速度反馈信号.提出了一种基于状态观测器的永磁直线同步电机无位置传感器控制系统,该系统采用扩展Kalman滤波器(EKF)算法对直线电机的位置和速度反馈信号进行估计.在EKF设计的基础上,构建了基于EKF的PMLSM无位置传感器进给系统.系统电流环采用PI控制,其输出用于产生空间矢量PWM电压源型逆变器的控制信号;速度环采用PI控制;由EKF产生位置及速度反馈信号估计值.仿真结果表明EKF能在宽的速度范围内对系统的状态做出精确稳定的估计

海德汉 电子工业直线电机的光栅尺和编码器rar,海德汉 电子工业直线电机的光栅尺和编码器

新能源汽车用直线压缩机的电机控制仿真研究，有论文及完整matlab程序、运用模糊控制 等

直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。它可以看成是一台旋转电机按径向剖开，并展成平面而成。对应旋转电机定子的部分叫初级，对应转子的部分叫次级。在初级绕组中通多相交流电，便产生一个平移交变磁场称为行波磁场。在行波磁场与次级永磁体的作用下产生驱动力，从而实现运动部件的直线运动

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基于SVPWM的永磁直线电机双闭环矢量控制，速度环采用滑模SMC，电流环采用PI。模型可正常运行

本硕士论文介绍了基于DSP的永磁同步直线电机控制系统的设计，包括其控制原理，控制方法，硬件设计，软件设计，仿真。