MEMS经典教材，所有MEMS工程师必备

本文档介绍的是ADI ADXL362（ADXL362数据手册）三轴MEMS加速度计在小米智能手环方案的应用和参考设计。 小米手环介绍: 小米手环主芯片采用台湾的华邦电子W25Q80BV（W25Q80BV数据手册），传感器采用ADI的三轴MEMS加速度传感器ADXL362（加速度传感器典型应用），蓝牙芯片采用Dialog的DA14580（DA14580数据手册）蓝牙SoC。小米手环更像是小米手机的延生产品，支持Android4.4及以上版本MIUI，包括小米手机4，小米手机3，红米note4G版，功能有基本的计步、睡眠监测、卡路里计算，还能通过设定目标，帮助用户完成每日的运动量。 小米手环电路板截图: ADXL362介绍: ADXL362微功耗三轴MEMS加速度计（加速度传感器典型应用）。数字输出，加速度范围为±2/±4/±8 g。工作电压1.8V-3.3V,电源电压2V和100Hz输出数据速率时的功耗为2μA，运动触发叫醒模式的功耗为300nA，器件提供12位输出分辨率,8位格式的数据,在±2 g范围的分辨率为1 mg/LSB。主要用在助听器,家庭保健设备,运动使能电源开关,无线传感器和运动使能计量设备. ADXL362功能框图: 附件内容包括: 小米手环电路设计原理图PDF档； ADXL362数据手册； ADXL362驱动/参考代码； 评估板EVAL-ADXL362电路图； 基于ADXL362的卫星跟踪设计参考原理图PDF档； 小米智能手环bong II完整设计方案分享（包括原理图、PCB源文件、材料清单、源代码，详细的制作过程和设计讲解）； 相关技术方案: 加速度传感器ADXL345典型应用 本参考设计基于ADI公司的ADXL345，实现了加速度传感器的一系列典型应用，包括:计步器，闪信，硬盘跌落保护，人体跌倒保护，倾角测量，旋转检测，晃动检测，单击、双击检测以及其他智能检测功能和游戏控制功能，等等。

comsol MEMS模块简易教程，指导comsol MEMS模拟仿真

这是那个四个压缩包的上海交大MEMS（微机电系统）动力学讲义的完整版本，免去大家到处找的麻烦了。

COMSOL Multiphysics为COMSOL公司其旗舰产品。COMSOL Multiphysics起源于MATLAB的Toolbox，最初命名为Toolbox 1.0。后来改名为Femlab 1.0(FEM为有限元，LAB是取自于Matlab)，这个名字也一直沿用到Femlab3.1。 COMSOL公司是全球多物理场建模与仿真解决方案的提倡者和领导者，使工程师和科学家们可以通过模拟，赋予设计理念以生命。它有无与伦比的能力，使所有的物理现象可以在计算机上完美重现。COMSOL的用户利用它提高了手机的接收性能，利用它改进医疗设备的性能并提供更准确的诊断，利用它使汽车和飞机变得更加安全和节能，利用它寻找新能源，利用它探索宇宙，甚至利用它去培养下一代的科学家。 从3.2a的版本开始，正式命名为COMSOL Multiphysics，因为COMSOL公司除了Femlab外又推出了COMSOL Script和COMSOL Reaction Engineering等一系列相关软件。这两款软件也相当于Femlab的工具箱，也是为了满足科研人员更高的要求。如在COMSOL Script中，你可以自己编程得到自己想要的模型并求解;你也可以通过编程在COMSOL Multiphysics基础上开发新的适用本专业的软件，也就是一个二次开发工具。所以COMSOL只是个公司名，软件名应该是COMSOL Multiphysics，但由于现在大家都习惯了，也就不再计较这些了。 Multiphysics翻译为多物理场，因此这个软件的优势就在于多物理场耦合方面。多物理场的本质就是偏微分方程组(PDEs)，所以只要是可以用偏微分方程组描述的物理现像，COMSOL Multiphysics都能够很好的计算、模拟、仿真。 2006年COMSOL Multiphysics再次被NASA技术杂志选为"本年度最佳上榜产品"，NASA技术杂志主编点评到，"当选为 NASA科学家所选出的年度最佳CAE产品的优胜者，表明COMSOL Multiphysics是对工程领域最有价值和意义的产品。" COMSOL Multiphysics是一款大型的高级数值仿真软件。广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算，被当今世界科学家称为"第一款真正的任意多物理场直接耦合分析软件"。模拟科学和工程领域的各种物理过程，COMSOL Multiphysics以高效的计算性能和杰出的多场双向直接耦合分析能力实现了高度精确的数值仿真。 COMSOL Multiphysics是以有限元法为基础，通过求解偏微分方程(单场)或偏微分方程组(多场)来实现真实物理现象的仿真，被当今世界科学家称为"第一款真正的任意多物理场直接耦合分析软件"。用数学方法求解真实世界的物理现象，COMSOL Multiphysics以高效的计算性能和杰出的多场双向直接耦合分析能力实现了高度精确的数值仿真。目前已经在声学、生物科学、化学反应、弥散、电磁学、流体动力学、燃料电池、地球科学、热传导、微系统、微波工程、光学、光子学、多孔介质、量子力学、射频、半导体、结构力学、传动现象、波的传播等领域得到了广泛的应用。 大量预定义的物理应用模式，范围涵盖从流体流动、热传导、到结构力学、电磁分析等多种物理场，用户可以快速的建立模型。COMSOL中定义模型非常灵活，材料属性、源项、以及边界条件等可以是常数、任意变量的函数、逻辑表达式、或者直接是一个代表实测数据的插值函数等。 预定义的多物理场应用模式， 能够解决许多常见的物理问题。同时，用户也可以自主选择需要的物理场并定义他们之间的相互关系。当然，用户也可以输入自己的偏微分方程(PDEs)，并指定它与其它方程或物理之间的关系。 COMSOL Multiphysics力图满足用户仿真模拟的所有需求，成为用户的首选仿真工具。它具有用途广泛、灵活、易用的特性，比其它有限元分析软件强大之处在于，利用附加的功能模块，软件功能可以很容易进行扩展。

高速的光网络使世界各地的人们得以即时交流和分享想法。微小的MEMS光开关在这些数量庞大的光纤系统中发挥着重要作用。此类开关涉及机械、光学和电气三个领域，因而是适宜作为利用Tanner EDA工具进行MEMS设计和仿真学习的器件。

针对煤矿井下人员定位的特殊环境与要求,提出一种基于行人航迹推算法(pedestrian dead reckoning,PDR)的微机电惯性传感器测量单元(micro-electro-mechanical system-inertial measurement unit,MEMS-IMU)定位系统,以MEMS中的加速度计、陀螺仪和磁力计获取数据,结合粒子滤波研究解决了传感器漂移误差关键技术问题,提高了井下定位精度。试验结果表明,该系统百米定位误差小于2 m,能够满足井下人员定位需求。

虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems， 微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。     MEMS是一门综合学科，学科交叉现象及其明显，主要涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学，生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米，相比之下头发的直径大约是50微米。MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等，

广受用户欢迎的低噪声、低漂移、低功耗三轴MEMS加速度计系列新增ADXL356和ADXL357两款器件。新款加速度计可实现高频低噪声性能，提供高分辨率振动测量，可在状态监控应用中尽早检测出机器故障

麦克风是把声学信号转换为电信号以供助听器音频信号链处理的传感器。有许多技术可用于这种声电转换，但电容麦克风是其中尺寸最小、精度最高的一类麦克风。电容麦克风中的薄膜随着声学信号而运动，这种运动引起电容变化，进而产生电信号。