首款面向消费类产品的超高声学过载点（Acoustic Overload Point， AOP）MEMS麦克风，能够应对极其嘈杂的环境。

LIS2DH12三轴加速度计 LIS2DS12三轴加速度计(计步) LIS2DW12三轴加速度计(低功耗) LIS2HH12三轴加速度计 LIS3DSH三轴加速度计 LSM6DS0加速度+陀螺仪 LSM6DS3加速度+陀螺仪 LSM6DSL加速度+陀螺仪 LSM6DSO加速度+陀螺仪 LSM330加速度+陀螺仪 LSM303AH加速度+磁力计 LSM303C加速度+磁力计 Ambient HTS221温湿度传感器 LPS22HB气压传感器 LPS25HB气压传感器 LPS35HW气压传感器（防水） A3G4250D三轴陀螺仪（车规） L3GD20H三轴陀螺仪 LIS2MDL磁力计 LIS3MDL磁力计

基于MEMS技术的3轴加速度传感器MMA7260Q，应用飞思卡尔公司新型S08AW60和智能数据处理技术，研制出具有微型化、智能化、高集成度的振动筛有栽工况检测装置，可同时测量振动筛任意位置的X、Y、Z 3轴加速度参数，该装置由振动检测电路、MCU核心单元、加速度信号预处理软件和上位机显示界面等组成，可以应用于散粒体(粮食)新型加工装备的研究、设计和技改验收等．

分析了激光成像雷达系统中的微机电系统(MEMS)振镜的振动特性，对影响MEMS振动角度的关键因素：频率和驱动电压对振动角度的影响进行了实验测量。研究结果表明，选择60~200 Hz要求的扫描频率、60 V以上的驱动电压可以实现角度相对较大、同时又能满足系统64~256 s-1分辨率要求。

低成本MEMS器件具有低精度高噪声特点,其误差随时间不断累加,无法满足长时间载体姿态测量要求,针对此问题,设计了基于四元数扩展卡尔曼滤波器EKF(ExtendedKalmanFilter)的姿态估计算法。该算法将姿态四元数作为EKF滤波器状态,应用测量的角速率完成滤波器时间更新;应用载体所处位置的重力场与地磁场数据,完成滤波器量测更新,抑制了姿态误差发散,解决了长时间姿态测量问题。为检验算法可行性,分别开展了转台精度实验与静态实验,实验结果表明:俯仰、横滚角精度优于0.1°,航向角精度优于0.2°,2h内

关于mems 微机电技术的top1000的专利 pdf打包，共3个包 MEMS传感器芯片 Methods and systems for detecting and resolving failure events when raising and lowering a payload Landing and payload loading structures A MEMS miniaturized solenoid inductor and manufacturing method thereof 一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法

• MEMS 模块概述 • 静电和力学接口功能特点和建模方法 – 静电接口及其域和边界条件 – 固体力学分析类型及边界条件、阻尼等 • 机电接口建模方法 – 机电原理 – 机电的结构力学和电气特征 – 机电求解类型和求解技巧 • 压电效应 – 压电效应简介和压电耦合方程 – 压电建模的要素和技巧 – 压电材料方向设置 • 其它 MEMS 多物理场耦合 – 热应力和热膨胀 – 热弹性和热粘性声学 – 压阻效应 – 流固耦合

关于如何利用L-Edit软件制作MEMS器件的版图。

介绍MEMS陀螺仪传感器的工作原理，功能实现

研究了陀螺仪在小车定位中的应用，运用陀螺仪对小车进行实时监测，从而对小车进行准确的控制