上传者: u010121263
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上传时间: 2021-11-22 15:20:21
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文件大小: 8.55MB
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文件类型: -
• MEMS 模块概述
• 静电和力学接口功能特点和建模方法
– 静电接口及其域和边界条件 – 固体力学分析类型及边界条件、阻尼等
• 机电接口建模方法
– 机电原理 – 机电的结构力学和电气特征 – 机电求解类型和求解技巧
• 压电效应
– 压电效应简介和压电耦合方程 – 压电建模的要素和技巧 – 压电材料方向设置
• 其它 MEMS 多物理场耦合
– 热应力和热膨胀 – 热弹性和热粘性声学 – 压阻效应 – 流固耦合