传统横向单向加载MEMS静电微执行器存在位移过小或驱动电压过大等问题.本文提出一种纵横双向加载的新型硅基静电执行器模型.基于拉格朗日-麦克斯韦方程建立了微执行器动力方程,分析了边缘漏电场对静电力的影响,基于龙格-库塔算法将所有轴向载荷等效为轴向集中载荷,并分别仿真得到了变形与驱动电压、调节电压和轴向挤压量之间的关系,结果表明当驱动电压仅为16 V时,位移高达10.861μm,远大于目前传统横向加载单向变形微执行器的位移量.通过微型制造工艺加工了微执行器,利用高频信号采集了横向极板间的电压变化量,验证了仿真结果.

大容差高效草莓采摘末端执行器设计与试验

具有执行器和传感器故障的机械手的容错控制方案

汽车电子控制执行器及其驱动

宏执行器的应用及案例

定时调度

本文介绍的基于CAN总线的智能阀门电动执行器，不仅控制精度高（采用∑-Δ16位模数转换器）、可自动初始化系统参数，而且操作控制方便，通过功能按钮选择相应功能进行设置，通过LCD可准确了解整个设置过程。同时针对阀门的流量特性特别设计了阀门工作特性曲线设置功能，可对不同阀门工作特性进行补偿。

西门子SAX61.03说明书，最新的执行器。注意接线端子不能接反

Fanuc出的宏编译器，可做二次开发。用于编写可执行的宏程序。