为了获得超高精度面形的光学元件并验证离子束的修正能力，对应用离子束修正大面形误差光学元件的问题进行了实验研究。通过改变离子源光阑尺寸的方式获得了不同束径的离子束去除函数，并对一直径为101 mm、初始面形峰谷(PV)值为417.554 nm、均方根(RMS)值为104.743 nm的熔石英平面镜进行了离子束修形实验。利用10、5、2 mm光阑离子源的组合，进行了12次迭代修形，最终获得了PV值为10.843 nm、RMS值为0.872 nm的超高精度表面。实验结果表明，应用离子束可以对大面形误差光学元件进行修正，并且利用更大和更小束径离子束去除函数的组合进行优化，可以进一步提升加工效率和精度。