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一种锗基底红外双波段保护膜
根据GeC薄膜折射率可调的特点,采用磁控溅射技术,在Ge基底上沉积了不同折射率的GeC薄膜以及类金刚石(DLC)膜和红外双波段保护膜。利用红外光谱仪测试了样品的红外透射光谱,利用偏光显微镜和显微硬度计测量了样品的维氏硬度。结果表明,GeC,DLC以及红外双波段保护膜均能显著提高样品的显微硬度;红外双波段保护膜在3.7~4.8 μm和7.5~10.5 μm波段范围内的平均透射率均高于94%,样品硬度高于单层GeC薄膜和DLC薄膜。红外双波段薄膜样品通过了GJB2485-95规定的环境实验。
2021-02-25 22:04:00
1.52MB
薄膜
红外保护
双波段
GeC
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