Zygo 101步移相干涉测量算法 Peter de Groot (101-frame algorithm for phase shifting interferometry) 相移干涉测量法（PSI）是在干涉条纹之间进行插值的更常见的技术之一。一个表面剖析的PSI仪器存储了一系列参考相位的CCD图像帧 一系列参考相位的CCD图像帧；然后应用数学算法来恢复相位信息。1 因为波前相位本身是表面轮廓的线性函数。由于波前相位本身是表面轮廓的线性函数，PSI提供了一个高分辨率的表面图测量。 在早期，计算上的限制将图像帧的数量限制在3或4个，这并没有留下多少变化的空间。随着对精度要求的提高，移相算法的长度和种类也随之增加。目前的技术水平已经发展到5、7甚至15帧的品种。2,3,4 本文探讨了这些趋势的局限性，同时回顾了我们Zygo公司用于分析PSI性能的一些数学技术。最后，为了尝试对未来进行远期预测，我提出了一个101帧的算法，该算法对错误源有很强的抵抗力。这个有点极端的例子强调了对算法长度的实际限制，只要我们放宽PSI的定义，这些限制实际上比人们想象的更宽松。

高功率固体激光器工作在高重复频率时，增益介质因热量的沉积而发生热畸变，导致激光输出波前发生变化。为此，利用相干调制成像技术通过记录单幅衍射光斑实现输出光场的波前测量，获得了放大器工作在1,5,7 Hz频率时光学元件的热畸变相位。实验结果显示，随着工作频率增大，热量向中心区域集中，热沉积效应明显增加了波前变化。