Zygo 101步移相干涉测量算法 Peter de Groot 1997

Zygo 101步移相干涉测量算法 Peter de Groot (101-frame algorithm for phase shifting interferometry) 相移干涉测量法（PSI）是在干涉条纹之间进行插值的更常见的技术之一。一个表面剖析的PSI仪器存储了一系列参考相位的CCD图像帧 一系列参考相位的CCD图像帧；然后应用数学算法来恢复相位信息。1 因为波前相位本身是表面轮廓的线性函数。由于波前相位本身是表面轮廓的线性函数，PSI提供了一个高分辨率的表面图测量。 在早期，计算上的限制将图像帧的数量限制在3或4个，这并没有留下多少变化的空间。随着对精度要求的提高，移相算法的长度和种类也随之增加。目前的技术水平已经发展到5、7甚至15帧的品种。2,3,4 本文探讨了这些趋势的局限性，同时回顾了我们Zygo公司用于分析PSI性能的一些数学技术。最后，为了尝试对未来进行远期预测，我提出了一个101帧的算法，该算法对错误源有很强的抵抗力。这个有点极端的例子强调了对算法长度的实际限制，只要我们放宽PSI的定义，这些限制实际上比人们想象的更宽松。