摘要：硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一，如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法，并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法，并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算，进而实现传感器输出的动态温补，达到了很好的输出线性性。实验结果表明，补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5% F.S. 　　0 引言 　　硅压阻式压力传感器利用半导体材料的压阻效应来进行压力测量，以其体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点，在各行业中得到了广泛应用。实际工程应用中由于硅材料受温

压阻式压力传感器的输出信号是非常微弱的，微弱信号在传输过程中容易产生失真现象，同时也会受到各种干扰信号的影响，不利于有用信号的提取，因此文中针对压阻式压力传感器的输出信号设计了一种调理电路。该信号调理电路主要由AD8221芯片搭建的放大电路以及LTC1569-7芯片搭建的滤波电路组成，使用贴片电位器与AD8221结合可改变其增益。通过Multisim14.0软件进行电路的仿真验证，并制作电路板对其进行调试。实验结果表明，该信号调理电路能够将传感器输出的mV级别信号准确放大到0~5 V，并能够很好的过滤噪声，最终得到平稳的电压信号。同时，电路板尺寸为45 mm*20 mm，适用于微小型封装的传感器结构。

在传感器设计过程中压阻式压力传感器存在的主要问题是温度飘移和非线性问题，这种问题影响传感器性能的发挥，所以必须对传感器实施性能补偿，弥补测量误差。本文主要通过设计一种LabVIEW压阻式压力传感器校准系统来完善感器校准功能，利用软件设置和硬件设计，并通过反复的实验证明校准装置的精确度和稳定性，以便设计出高性能的传感器校准系统。实验结果表明该系统能够满足压阻式压力传感器稳定性和精确度，并使其稳定性和精确度提高了72％、76％。

摘要：硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一，如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法，并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法，并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算，进而实现传感器输出的动态温补，达到了很好的输出线性性。实验结果表明，补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5% F.S. 　　0 引言 　　硅压阻式压力传感器利用半导体材料的压阻效应来进行压力测量，以其体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点，在各行业中得到了广泛应用。实际工程应用中由于硅材料受温

压阻式压力传感器及其应用电路，它采用集成电路 工艺, 结构简单, 测压上限可达到60M Pa, 具有 工作可靠、耐腐性、抗干扰能力强等特点, 国内 有些厂家利用美国生产的传感器芯片, 加上严 格的组装工艺, 其不确定度可达0104%FS 以 上, 在压力测量领域得到了较广泛的应用。

陶瓷压阻式压力传感器.pdf

硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一，如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法，并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法，并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算，进而实现传感器输出的动态温补，达到了很好的输出线性性。

关于压阻式压力传感器的设计以及外围电路 电桥的设计应用，以及应用电路设计，介绍了压阻式压力传感器的工作原理，以及相关应用电路，并给出了一个应用实例加以说明