基于GaAs MMIC技术的微波功率传感器

CPW lines ; GaAs

提出了一种用于测量微波信号功率的新颖结构。它测量通过MEMS膜从CPW线耦合的微波功率。在这种方法中，信号在功率检测期间可用。功率传感器的制造与GaAs MMICCraft.io兼容。给出了该传感器的设计，制造和实验结果。实验结果表明，该传感器在12 GHz以下的反射小于-15 dB，插入损耗小于2.0 dB。这种功率传感器在10 GHz频率下的总灵敏度为10.4νVmW-1。？ 2007 IOP出版有限公司

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