SECS GEM 300mm半導體設備軟體標準

SECS GEM 300mm SEMI

全中文台灣工研院發表的文章 300mm是比較難完成的GEM 協定給各位參考

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评论信息

潇湘雨1414 :

文档比较简单，没有实际内容，只有process control的一些框架简介。
2018-11-19
fjwuyongzhi :

sesc协议，Good!
2018-08-12
zjzj911 :

还可以，中文的简介，好理解些。
2014-03-04
howard_cmit :

12"wafer是目前的主流，此文件有相當的幫助。
2014-01-21
hongtao1019 :

sesc协议，很好的资料
2013-07-15

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