R软件代码转换为matlab
锂光
它是什么?
Optolithium是一种光学光刻(请参阅参考资料)建模软件,可用于在处理的不同步骤中计算结果。
它是开源软件,并不旨在与高端VLSI制造技术节点相对应。
该项目的主要目标是研究学生的纳米技术过程的基础知识(例如,光学光刻)。
Optolithium是指软件,可用于模拟光刻过程的不同阶段。
在当前版本中,可以模拟以下阶段:
航空影像
抵抗中的航拍图像
抗蚀剂中曝光的潜像
光刻胶中的PEB潜像
制定时间轮廓
抵抗轮廓
也可以使用最多两个参数可变的自动仿真集。
目前,仅实现了2D抗蚀剂轮廓建模,但路线图的重点之一是增加了3D模拟的可能性。
下图显示了365
nmCraft.io过程的抗蚀剂轮廓模拟结果:
Optolithium软件主窗口的屏幕快照,其中包含抗蚀剂中的航拍图像的模拟结果,作为光强度的分布。
在此图中也可以看到驻波的影响。
什么是内部?
该程序可以视为两个主要部分:
核心(OptolithiumC)-软件的一部分,需要高性能计算和整个列表,数组等的不同迭代。
GUI(OptoltihiumGui)-与用户进行交互的另一部分。
该
2021-09-29 13:52:56
12.22MB
系统开源
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