R软件代码转换为matlab-optolithium:光刻模拟软件
R软件代码转换为matlab
锂光
它是什么？
Optolithium是一种光学光刻（请参阅参考资料）建模软件，可用于在处理的不同步骤中计算结果。
它是开源软件，并不旨在与高端VLSI制造技术节点相对应。
该项目的主要目标是研究学生的纳米技术过程的基础知识（例如，光学光刻）。
Optolithium是指软件，可用于模拟光刻过程的不同阶段。
在当前版本中，可以模拟以下阶段：
航空影像
抵抗中的航拍图像
抗蚀剂中曝光的潜像
光刻胶中的PEB潜像
制定时间轮廓
抵抗轮廓
也可以使用最多两个参数可变的自动仿真集。
目前，仅实现了2D抗蚀剂轮廓建模，但路线图的重点之一是增加了3D模拟的可能性。
下图显示了365
nmCraft.io过程的抗蚀剂轮廓模拟结果：
Optolithium软件主窗口的屏幕快照，其中包含抗蚀剂中的航拍图像的模拟结果，作为光强度的分布。
在此图中也可以看到驻波的影响。
什么是内部？
该程序可以视为两个主要部分：
核心（OptolithiumC）-软件的一部分，需要高性能计算和整个列表，数组等的不同迭代。
GUI（OptoltihiumGui）-与用户进行交互的另一部分。
该
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sheuchenko :完全就是github的项目，和matlab无关2021-10-21 -
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