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紫外光致抗蚀剂在聚合物准矩形电光波导中的应用
聚合物波导电光(
EO
)器件在提高光网络带宽和容量方面起着关键作用。 设计并制造了一种基于有机/无机杂化材料(OIHM)的准矩形电光波导。 SiO2被用作下部包层。 紫外光致抗蚀剂SU-8用作引导芯。 分散的红色1(DR1)掺杂的OIHM的发色团用作
EO
活性层。 通过优化电感耦合等离子体(ICP)蚀刻的天线功率,偏置功率和O2流量等参数,SU-8可以同时用作导向芯和蚀刻掩模。 通过传统的半导体Craft.io,成功制备了准矩形电光波导器件。 在这种情况下,传输损耗为-3.5 dB / cm。
2021-03-17 11:10:50
384KB
Electro-optical;
EO
waveguide
devices;
1
EO
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EO
.Total includes
EO
.Web,
EO
.Pdf,
EO
.Wpf and
EO
.WebBrowser. WebBrowser内置谷歌游览器内核,可以加载显示网页,可以对网页发送消息进行监听拦截,可以直接执行JavaScript,完成自动登录等网页操作,使用C#语言开发,资源包含License
2019-12-21 19:25:16
82.28MB
EO.WebBrowse
key
License
EO.Total
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