紫外光致抗蚀剂在聚合物准矩形电光波导中的应用

Electro-optical; EO waveguide devices;

聚合物波导电光（EO）器件在提高光网络带宽和容量方面起着关键作用。设计并制造了一种基于有机/无机杂化材料（OIHM）的准矩形电光波导。 SiO2被用作下部包层。紫外光致抗蚀剂SU-8用作引导芯。分散的红色1（DR1）掺杂的OIHM的发色团用作EO活性层。通过优化电感耦合等离子体（ICP）蚀刻的天线功率，偏置功率和O2流量等参数，SU-8可以同时用作导向芯和蚀刻掩模。通过传统的半导体Craft.io，成功制备了准矩形电光波导器件。在这种情况下，传输损耗为-3.5 dB / cm。

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