以提高共焦差动并行激光直写中光束刻写质量为目标, 分析设计了调平聚焦伺服控制系统。采用柱面镜作为像散元件, 与四象限光电探测器结合, 利用差动像散检测方法和比例积分微分(PID)反馈算法减少光源和外部干扰的误差, 获得高灵敏度、高精度、高稳定性的探测曲线。通过优化光学设计参数, 本系统能获得具有高灵敏性与一致稳定性的探测曲线, 探测范围为3 μm, 静态聚焦误差可达 ±5.0 nm; 动态聚焦压电陶瓷(PZT)伸长量可保证在焦深范围内, 焦点位置辨别精度可达纳米量级, 可探测调平台的倾斜角和俯仰角在0.01 mrad左右。利用该系统可实现光栅的刻写, 进一步为更大尺寸、更高密度的光栅刻写提供依据。

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全光连续可调平带通微波光陷波滤波器

针对缩短某型车载雷达调平时长，提高调平精度的目的，采用了车载平台的四点式调平原理，也即一种基于单片机和可编程逻辑器件（CPLD）的车载平台机电式自动调平系统的方法，通过样机调试试验，使得车载雷达调平时间由10分钟缩短到3分钟，调平精度由20“提高到3”。

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