微系统近年来迅速发展，本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计
2019-12-21 21:58:14
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